最完整的传感器培训教程.pdf
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1、第 1 章 传感与检测技术的理论基础第 1 章 传感与检测技术的理论基础1.1 测量概论测量概论1.2 测量数据的估计和处理测量数据的估计和处理第 1 章 传感与检测技术的理论基础1.1 测量概论测量概论1.1.1 测量测量测量是以确定被测量的值或获取测量结果为目的的一系列 操作。所以,测量也就是将被测量与同种性质的标准量进行比 较,确定被测量对标准量的倍数。它可由下式表示:uxnnux(1-1)(1-2)第 1 章 传感与检测技术的理论基础式中:x被测量值;u标准量,即测量单位;n比值(纯数),含有测量误差。由测量所获得的被测量的量值叫测量结果,测量结果可用一 定的数值表示,也可以用一条曲线
2、或某种图形表示,但无论其表 现形式如何,测量结果应包括比值和测量单位。测量结果仅仅 是被测量的最佳估计值,并非真值,所以还应给出测量结果的质 量,即测量结果的可信程度。这个可信程度用测量不确定度表 示,测量不确定度表征测量值的分散程度。因此测量结果的完整 表述应包括估计值、测量单位及测量不确定度。第 1 章 传感与检测技术的理论基础被测量值和比值等都是测量过程的信息,这些信息依托于 物质才能在空间和时间上进行传递。被测量作用到实际物体 上,使其某些参数发生变化,参数承载了信息而成为信号。选 择其中适当的参数作为测量信号,例如热电偶温度传感器的工 作参数是热电偶的电势,差压流量传感器中的孔板工作
3、参数是 差压p。测量过程就是传感器从被测对象获取被测量的信息,建立起测量信号,经过变换、传输、处理,从而获得被测量量 值的过程。第 1 章 传感与检测技术的理论基础1.1.2 测量方法测量方法实现被测量与标准量比较得出比值的方法,称为测量方法。针对不同测量任务,进行具体分析,找出切实可行的测量方法,对测量工作是十分重要的。对于测量方法,从不同角度,有不同的分类方法。根据获得 测量值的方法可分为直接测量、间接测量和组合测量;根据测量 方式可分为偏差式测量、零位式测量与微差式测量;根据测量条 件不同可分为等精度测量与不等精度测量;根据被测量变化快慢 可分为静态测量与动态测量;根据测量敏感元件是否与
4、被测介质 接触可分为接触式测量与非接触式测量;根据测量系统是否向被 测对象施加能量可分为主动式测量与被动式测量等。第 1 章 传感与检测技术的理论基础1.直接测量、间接测量与组合测量直接测量、间接测量与组合测量在使用仪表或传感器进行测量时,测得值直接与标准量进 行比较,不需要经过任何运算,直接得到被测量的数值,这种 测量方法称为直接测量。被测量与测得值之间关系可用下式 表示:y=x(1-3)式中:y被测量的值;x直接测得值。第 1 章 传感与检测技术的理论基础例如,用磁电式电流表测量电路的某一支路电流,用弹簧 管压力表测量压力等,都属于直接测量。直接测量的优点是测量 过程简单而又迅速,缺点是测
5、量精度不容易达到很高。在使用仪表或传感器进行测量时,首先对与被测量有确定函 数关系的几个量进行直接测量,将直接测得值代入函数关系式,经过计算得到所需要的结果,这种测量称为间接测量。间接测量 与直接测量不同,被测量y是一个测得值x或几个测得值x1,x2,xn的函数,即y=f(x)或 y=f(x1,x2,xn)(1-4)(1-5)第 1 章 传感与检测技术的理论基础被测量y不能直接测量求得,必须有测得值x或xi(i=1,2,n)及与被测量y的函数关系确定。如直接测量电压值U和 电阻值R,根据式P=U2/R求电功率P即为间接测量的实例。间接 测量手续较多,花费时间较长,一般用在直接测量不方便,或者
6、缺乏直接测量手段的场合。若被测量必须经过求解联立方程组求得,如有若干个被测量 y1,y2,ym,直接测得值为x1,x2,xn,把被测量与测得值之间 的函数关系列成方程组,即),(),(),(2121222111mnnmmyyyfxyyyfxyyyfx(1-6)第 1 章 传感与检测技术的理论基础方程组中方程的个数n要大于被测量y的个数m,用最小二乘法求 出被测量的数值,这种测量方法称为组合测量。组合测量是一 种特殊的精密测量方法,操作手续复杂,花费时间长,多适用 于科学实验或特殊场合。第 1 章 传感与检测技术的理论基础2.偏差式测量、零位式测量与微差式测量偏差式测量、零位式测量与微差式测量用
7、仪表指针的位移(即偏差)决定被测量的量值,这种测量 方法称为偏差式测量。应用这种方法测量时,仪表刻度事先用标 准器具分度。在测量时,输入被测量按照仪表指针在标尺上的示 值,决定被测量的数值。偏差式测量,其测量过程简单、迅速,但测量结果的精度较低。用指零仪表的零位反映测量系统的平衡状态,在测量系统平 衡时,用已知的标准量决定被测量的量值,这种测量方法称为零 位式测量。在零位测量时,已知标准量直接与被测量相比较,已 知标准量应连续可调,指零仪表指零时,被测量与已知标准量相 等。例如天平测量物体的质量、电位差计测量电压等都属于零位 式测量。零位式测量的优点是可以获得比较高的测量精度,但 测量过程比较
8、复杂,费时较长,不适用于测量变化迅速的信号。第 1 章 传感与检测技术的理论基础微差式测量是综合了偏差式测量与零位式测量的优点而提 出的一种测量方法。它将被测量与已知的标准量相比较,取得 差值后,再用偏差法测得此差值。应用这种方法测量时,不需 要调整标准量,而只需测量两者的差值。设:N为标准量,x为 被测量,为二者之差,则x=N+。由于N是标准量,其误差 很小,且N,因此可选用高灵敏度的偏差式仪表测量,即 使测量的精度不高,但因x,故总的测量精度仍很高。微差 式测量的优点是反应快,而且测量精度高,特别适用于在线控 制参数的测量。第 1 章 传感与检测技术的理论基础3.等精度测量与不等精度测量等
9、精度测量与不等精度测量在整个测量过程中,若影响和决定误差大小的全部因素(条 件)始终保持不变,如由同一个测量者,用同一台仪器,用同样 的方法,在同样的环境条件下,对同一被测量进行多次重复测 量,称为等精度测量。在实际中,极难做到影响和决定误差大小 的全部因素(条件)始终保持不变,所以一般情况下只是近似认 为是等精度测量。有时在科学研究或高精度测量中,往往在不同的测量条件 下,用不同精度的仪表,不同的测量方法,不同的测量次数以 及不同的测量者进行测量和对比,这种测量称为不等精度测量。第 1 章 传感与检测技术的理论基础4.静态测量与动态测量静态测量与动态测量被测量在测量过程中认为是固定不变的,对
10、这种被测量进 行的测量称为静态测量。静态测量不需要考虑时间因素对测量 的影响。若被测量在测量过程中是随时间不断变化的,对这种被测 量进行的测量称为动态测量。第 1 章 传感与检测技术的理论基础1.1.3 测量系统测量系统1.测量系统构成测量系统构成测量系统应具有对被测对象的特征量进行检测、传输、处 理及显示等功能,一个测量系统是传感器、变送器(变换器)和其它变换装置等的有机组合。图1-1表示测量系统组成结构框 图。图 1-1 测量系统组成框图第 1 章 传感与检测技术的理论基础传感器是感受被测量(物理量、化学量、生物量等)的大 小,并输出相对应的可用输出信号(一般多为电量)的器件或 装置。变送
11、器将传感器输出的信号变换成便于传输和处理的信 号,大多数变送器的输出信号是统一的标准信号(目前多为4 20 mA直流电流),信号标准是系统各环节之间的通信协议。当测量系统的几个功能环节独立地分隔开时,必须由一个 地方向另一个地方传输信号,传输环节就是完成这种传输功能 的。传输通道将测量系统各环节间的输入、输出信号连接起 来,通常用电缆连接,或用光导纤维连接,以用来传输数据。第 1 章 传感与检测技术的理论基础信号处理环节将传感器输出信号进行处理和变换。如对信 号进行放大、运算、线性化、数模或模数转换,使其输出信 号便于显示、记录。这种信号处理环节可用于自动控制系统,也可与计算机系统连接,以便对
12、测量信号进行信息处理。显示装置是将被测量信息变成人的感官能接受的形式,以 完成监视、控制或分析的目的。测量结果可以采用模拟显示,也可采用数字显示或图形显示,也可以由记录装置进行自动记 录或由打印机将数据打印出来。第 1 章 传感与检测技术的理论基础2.开环测量系统与闭环测量系统开环测量系统与闭环测量系统(1)开环测量系统 开环测量系统全部信息变换只沿着一个 方向进行,如图1-2所示。其中x为输入量,y为输出量,k1、k2、k3为各个环节的传递系数。输入输出关系表示如下:y=k1 k2 k3 x因为开环测量系统是由多个环节串联而成的,因此系统的 相对误差等于各环节相对误差之和。即niin121(
13、1-7)(1-8)第 1 章 传感与检测技术的理论基础式中,系统的相对误差;i 各环节的相对误差。采用开环方式构成的测量系统,结构较简单,但各环节特 性的变化都会造成测量误差。第 1 章 传感与检测技术的理论基础图1-2 开环测量系统框图第 1 章 传感与检测技术的理论基础(2)闭环测量系统闭环测量系统有两个通道,一为正向通 道,一为反馈通道,其结构如图1-3所示。其中x为正向通道的 输入量,为反馈环节的传递系数,正向通道的总传递系数 k=k1 k2。由图1-3可知:kxkkyykkxxxkxkyyxxxxfff111)(1111第 1 章 传感与检测技术的理论基础当k1时,则11xy(1-9
14、)系统的输入输出关系为xkxkkky111(1-10)显然,这时整个系统的输入输出关系由反馈环节的特性决 定,放大器等环节特性的变化不会造成测量误差,或者说造成 的误差很小。第 1 章 传感与检测技术的理论基础图 1-3 闭环测量系统框图第 1 章 传感与检测技术的理论基础1.1.4 测量误差测量误差测量误差是测得值减去被测量的真值。由于真值往往不知道,因此测量的目的是希望通过测量获 取被测量的真实值。但由于种种原因,例如,传感器本身性能 不十分优良,测量方法不十分完善,外界干扰的影响等,造成 被测量的测得值与真实值不一致,因而测量中总是存在误差。由于真值未知,所以在实际中,有时用约定真值代替
15、真值,常 用某量的多次测量结果来确定约定真值;或用精度高的仪器示 值代替约定真值。第 1 章 传感与检测技术的理论基础在工程技术及科学研究中,对被测量进行测量时,测量的 可靠性至关重要,不同场合对测量结果可靠性的要求也不同。例如,在量值传递、经济核算、产品检验场合应保证测量结果 有足够的准确度。当测量值用作控制信号时,则要注意测量的 稳定性和可靠性。因此,测量结果的准确程度,应与测量的目 的与要求相联系,相适应,那种不惜工本,不顾场合,一味追 求越准越好的作法是不可取的,要有技术与经济兼顾的意识。第 1 章 传感与检测技术的理论基础1.测量误差的表示方法测量误差的表示方法测量误差的表示方法有多
16、种,含义各异。(1)绝对误差 绝对误差可用下式定义:=x-L式中:绝对误差;x测量值;L真值。绝对误差是有正、负并有量纲的。(1-11)第 1 章 传感与检测技术的理论基础在实际测量中,有时要用到修正值,修正值是与绝对误差大 小相等、符号相反的值,即c=-(1-12)式中,c为修正值,通常用高一等级的测量标准或标准仪器获得 修正值。利用修正值可对测量值进行修正,从而得到准确的实际值,修正后的实际测量值x为x=x+c(1-13)修正值给出的方式,可以是具体的数值,也可以是一条曲线或公式。第 1 章 传感与检测技术的理论基础采用绝对误差表示测量误差,不能很好说明测量质量的好 坏。例如,在温度测量时
17、,绝对误差=1,对体温测量来说 是不允许的,而对钢水温度测量来说是极好的测量结果,所以 用相对误差可以比较客观地反映测量的准确性。第 1 章 传感与检测技术的理论基础(2)实际相对误差 实际相对误差的定义由下式给出:%100L(1-14)式中:实际相对误差,一般用百分数给出;绝对误差;L真值。由于被测量的真值L无法知道,实际测量时用测量值x代替 真值L进行计算,这个相对误差称为标称相对误差,即%100 x(1-15)第 1 章 传感与检测技术的理论基础(3)引用误差 引用误差是仪表中通用的一种误差表示方 法。它是相对于仪表满量程的一种误差,又称满量程相对误 差,一般也用百分数表示。即%100测
18、量范围下限测量范围上限式中:引用误差;绝对误差。仪表精度等级是根据最大引用误差来确定的。例如,0.5级 表的引用误差的最大值不超过0.5%;1.0级表的引用误差的最 大值不超过1%。在仪表和传感器使用时,经常会遇到基本误差和附加误差两 个概念。(1-16)第 1 章 传感与检测技术的理论基础(4)基本误差 基本误差是指传感器或仪表在规定的标准条 件下所具有的误差。例如,某传感器是在电源电压(2205)V、电网频率(502)Hz、环境温度(205)、湿度65%5%的条件 下标定的。如果传感器在这个条件下工作,则传感器所具有的误 差为基本误差。仪表的精度等级就是由基本误差决定的。(5)附加误差 附
19、加误差是指传感器或仪表的使用条件偏离 额定条件下出现的误差。例如,温度附加误差、频率附加误差、电源电压波动附加误差等。第 1 章 传感与检测技术的理论基础2.测量误差的性质测量误差的性质根据测量数据中的误差所呈现的规律及产生的原因可将其分 为系统误差、随机误差和粗大误差。(1)随机误差 在同一测量条件下,多次测量被测量时,其 绝对值和符号以不可预定方式变化着的误差称为随机误差。在我国新制订的国家计量技术规范JJF1001-1998通用计量 术语及定义中,对随机误差的定义是根据国际标准化组织(ISO)等七个国际组织制订的测量不确定度表示指南定 义的,即随机误差是将测量结果与在重复性条件下,对同一
20、被 测量进行无限多次测量所得结果的平均值之差。重复性条件包 括:相同的测量程序,相同的观测者,在相同的条件下使用相 同的测量仪器,相同的地点,在短时间内重复测量。随机误差可 用下式表示:第 1 章 传感与检测技术的理论基础xxi随机误差(1-17)式中:xi 被测量的某一个测量值;x 重复性条件下无限多次的测量值的平均值,即nxxxxn21(n)由于重复测量实际上只能测量有限次,因此实用中的随机 误差只是一个近似估计值。对于随机误差不能用简单的修正值来修正,当测量次数足 够多时,随机误差就整体而言,服从一定的统计规律,通过对 测量数据的统计处理可以计算随机误差出现的可能性的大小。第 1 章 传
21、感与检测技术的理论基础(2)系统误差 在同一测量条件下,多次测量被测量时,绝 对值和符号保持不变,或在条件改变时,按一定规律(如线 性、多项式、周期性等函数规律)变化的误差称为系统误差。前者为恒值系统误差,后者为变值系统误差。在我国新制订的国家计量技术规范JJF1001-1998通用计量 术语及定义中,对系统误差的定义是,在重复性条件下对同 一被测量进行无限多次测量所得结果的平均值与被测量的真值 之差。它可用下式表示:系统误差=x-L式中,L为被测量的真值。第 1 章 传感与检测技术的理论基础因为真值不能通过测量获知,所以通过有限次测量的平均 值x与L的约定真值近似地得出系统误差,称之为系统误
22、差的估 计,得出的系统误差可对测量结果进行修正,但由于系统误差 不能完全获知,因此通过修正值对系统误差只能有限程度地补 偿。引起系统误差的原因复杂,如测量方法不完善,零点未调 整,采用近似的计算公式,测量者的经验不足等等。对于系统 误差,首先要查找误差根源,并设法减小和消除,而对于无法 消除的恒值系统误差,可以在测量结果中加以修正。第 1 章 传感与检测技术的理论基础(3)粗大误差 超出在规定条件下预期的误差称为粗大误 差,粗大误差又称疏忽误差。这类误差的发生是由于测量者疏忽大意,测错、读错或环 境条件的突然变化等引起的。含有粗大误差的测量值明显地歪 曲了客观现象,故含有粗大误差的测量值称为坏
23、值或异常值。在数据处理时,要采用的测量值不应该包含有粗大误差,即所有的坏值都应当剔除。所以进行误差分析时,要估计的误 差只有系统误差和随机误差两类。第 1 章 传感与检测技术的理论基础1.2 测量数据的估计和处理测量数据的估计和处理1.2.1 随机误差的统计处理随机误差的统计处理1.正态分布正态分布多次等精度地重复测量同一量值时,得到一系列不同的测量 值,即使剔除了坏值,并采取措施消除了系统误差,然而每个 测量值数据各异,可以肯定每个测量值还会含有误差。这些误 差的出现没有确定的规律,具有随机性,所以称为随机误差。随机误差的分布规律,可以在大量测量数据的基础上总结 出来,就误差的总体来说是服从
24、统计规律的。由于大多数随机 误差服从正态分布,因而正态分布理论就成为研究随机误差的 基础。第 1 章 传感与检测技术的理论基础随机误差一般具有以下几个性质:绝对值相等的正误差与负误差出现的次数大致相等,误 差所具有的这个特性称为对称性。在一定测量条件下的有限测量值中,其随机误差的绝对 值不会超过一定的界限,这一特性称为有界性。绝对值小的误差出现的次数比绝对值大的误差出现的次 数多,这一特性称为单峰性。对同一量值进行多次测量,其误差的算术平均值随着测 量次数n的增加趋向于零,这一特性称为误差的抵偿性。第 1 章 传感与检测技术的理论基础抵偿性是由第一个特性推导出来的,因为绝对值相等的正误 差与负
25、误差之和可以互相抵消。对于有限次测量,随机误差的平 均值是一个有限小的量,而当测量次数无限增多时,它趋向于 零。抵偿性是随机误差的一个重要特征,凡是具有抵偿性的,原则上都可以按随机误差来处理。设对某一被测量进行多次重复测量,得到一系列的测量值为 xi,设被测量的真值为L,则测量列中的随机误差i为i=xi-L i=1,2,n(1-19)第 1 章 传感与检测技术的理论基础正态分布的概率分布密度f()为22221)(ef(1-20)正态分布的分布密度曲线如图1-4 所示,即为一条钟形的 曲线,称为正态分布曲线,其中L、(0)是正态分布的两 个参数。从图中还可以看到,曲线在L(或)处有两 个拐点。第
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